光催化微反应器，通常含有小的通道尺寸（当量直径小于500 µm）和通道多样性，流体在这些通道中流动，并要求在这些通道中发生所要求的反应。这样就导致了在微构造的化学设备中具有非常大的表面积/体积比率。

微通道反应器，内部结构主要由微米级（通常10～300μm）通道构成的微反应器。微反应器的“微”表示工艺流体的通道在微米级别。微反应器中可以包含有成百万上千万的微型通道，因此也实现很高的产量。